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特征：

***行程4m x 4m

以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平台

良好接地設計防止雜訊干擾

Z向震動可達奈米等級以下

速度可達5m/s

標準重現精度1um或以下

位置回饋系統解析度***可達50nm

应用：

半導體設備

自動化搬送

FPD設備

太陽能製造設備

PCB設備

水刀設備

鑽石切割產業

AOI檢測設備

工具機

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***行程4m x 4m

以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平台

良好接地設計防止雜訊干擾

Z向震動可達奈米等級以下

速度可達5m/s

標準重現精度1um或以下

位置回饋系統解析度***可達50nm

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